光がガス分子を直接イオン化し除電する強力で小型の軟X線照射除電装置です。光照射除電方式は発塵が全く無く、電磁ノイズもほとんど発生しません。また、ガスの流動状態に関係なく安定した除電性能が得られます。N2、Ar等の不活性ガス中での除電も可能です。