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公司新闻
日本SIMCOION负离子除静电系统4214杉本销售
日本SIMCOION负离子除静电系统4214杉本销售
日本SIMCOION负离子除静电系统4214杉本销售
日本SIMCOION负离子除静电系统4214杉本销售
対応延长
ISO Class1,10nm
高纯度氮气离子系统
4214
负离子
4214
模型(离子系统制造),可以实现一个良好的平衡和离子,相应的高洁净度
“
的
ISO Class1
的,
10nm
的
”
延长,甚至在高纯度氮气离子系统。
特征
·
采用单结晶硅电极支持超低粒子。
·
确保一个稳定的长期自身机制的清洁不干净颗粒释放到外部
·
采用智能控制电路,不需要任何调整
·
离子一代不断监测传感器的内部器官,取得了一定的电离
·
内置的集成电源控制器的设计紧凑
·
在低流量,高电压自动关机功能保护产品
·
*适合超低粒子半导体制造工艺的**
·
24V
直流驱动器
规范
输入电压
24V DC + / -5
%6W典型。
离子平衡
<+ /-25V
无40LPM距离150毫米管道连接
放电时间
<10
秒,无管道连接40LPM距离150毫米
+ /-1KV→/ - 100V充电平板显示器
离子生成方法
高频交流电晕放电法
卫生
ISO Class1
的,“的ISO Class1的,10nm的延伸”0.1微米*
电极
可以更换单晶硅
支持吹扫气体
N2> 99.998
%
流
40LPM
(36.5Kpa)
〜
90LPM
(171kpa)
*大压力吹扫
(流量= 100LPM)207Kpa
*大的气体温度
60degÇ
氮气吹扫连接
水暖Swagelok3 / 8“OD
N2
连接电离
1/4NPT
内螺纹连接选项或联合
管道连接Swagelok1 / 2“外径28-25710-SC
工作温度范围
15
〜
60degç
信号输出
打开/关闭,离子产量下降的报警和接触
维
的深度72.4毫米x152.4毫米x 32毫米宽长度的
管段不包括在内
重量
640
克
外观
不锈钢
安装方法
长度超过10mm M5 Nejineji回少
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日本SIMCOION负离子静电控制器3350-3360
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日本SIMCOION室内离子除静电系统5515
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