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SIMCOION对应扩张ISO Class1,10nm的离子风棒AeroBarMP 5635
      
对应扩张ISO Class1,10nm的离子风棒AeroBarMP 5635
5635型MP离子风棒，是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。
 
 
特征
  • 采用在世界上****的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。
  • 通过独特的MP（脉冲调制）方式，可以有效的发挥离子除电性能。
·         平衡的电位，即使是在距100mm的距离也可用使用的特性及静电杆长且离子平衡度好。
·         通过智能控制电路，可自动管理离子发生状态及离子平衡度。
·         1/4圈可以拆卸更换电极，有助于减少维护工时。
·         电位波动小的MP方式的特性，简化了组装。另外，电位波动小可以保持离子平衡度在管理的基准内。
·         设定了适合半导体前工序EFEM用的除静**长度。
·         内置24V DC驱动控制器的小巧紧湊型设计。
·         可用于全球高层次网络。
 
规范
AeroBar MP的5635型号
输入电压
24V DC + / -10％
输出电压
*大可调至约13.5kv PP
安装距离
100毫米〜1000毫米（无空气净化）
离子生成方法
电晕放电法
PM（脉冲变调）方式 变动频率　1 ～　33 Hz
离子平衡度
自动平衡调节方法
<+/-10V内离子风棒直下根据位置的不同会有差异<+/-10v
(600 mm距離）
电极
单晶硅电极 可更换
吹气
清洁干燥的空气或氮气
*大气压力
310Kpa
臭氧产生量
<0.05PPM（24时总值）
信号输出
报警IO 电极输出
维
 
高78mm*宽34mm*t长（如下值）
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 
/ 1900/2050/2200/2350Mm
外观
ABS树脂
 
关于ISO Class1。10nm的延伸？
延长ISO Classl.10mm，是基于ION Systems为了应对微小型颗料而自定的清洁度。ISO14644-1是*小粒径在100nm的定义。ISO Class1,10nm用了和ISO14644-1一样的容许颗粒数的计算方式。这个容许颗料数在粒径为10nm以下1200pc/ m3(34 pc/ft3)。
 
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