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SIMCOION対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统静电消除器4214
      
対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统静电消除器4214
 
4214静电消除器是一款即使在N2的环境下也可以对应“延长ISO Class1,10nm”的高清洁静电消除器，以达到更好的离子平衡效果。
 
   
特征
·         采用对应超低颗粒的单结晶硅电极。
·         通过自身的清洁机构，超低颗粒不释放到外部，以确保长时间清洁度的稳定。
·         采用智能控制电路，不需要任何调整。
·         内置传感器可随时监测离子发生情况，以达到良好的除电效果。
·         控制器和电源内置的紧湊一体型设计。
·         当低流量时，高电压自动切断机能而达到产品的保护。
·         *适合先端半导体制造工程情况下的超低颗粒。
·         24V DC驱动。
 
规格
规范
输入电压
24V DC+/-5% 6W Typ.
离子平衡
<+/-25V 150mm距离 40LPM配管接口 无
放电时间
10sec 150mm 距离 40LPM配管接口   无
通过带电平板显示器 +/-1kv → +/- 100v
离子生成方法
高频电晕放电式 高频率AC式
清洁度
ISO Class1,0.1 micron"延长ISO Class1,10nm"*
电极
单晶硅 可换
对应气流
N2> 99.998％
流量
40LPM（36.5Kpa）〜90LPM（171kpa）
*大气压
（流量= 100LPM）207Kpa
*大气体温度
60degÇ
氮气接口
Swagelok3/8" OD 配管
离子化氮气接口
1/4NPT内螺纹连接器 或 通过联合选项28-25710-SC接续 Swagelok1/2"OD配管
工作温度范围
15〜60degç
信号输出
通过Open/Close接点，报警及离子输出减少
尺寸
长152.4mm*宽72.4mm*高32mm
重量
640g
外观
不锈钢
安装方法
内部为M5的螺丝，螺丝长不足10mm
 
关于“延长ISO Class1,10nm”
为了应对微小型颗料，基于ION Systems而自定的清洁度的定度。ISO14644-1是*小粒径在100nm的定义。ISO Class1,10nm用了和ISO14644-1一样的容许颗粒数的计算方式。这个容许颗料数在粒径为10nm以下1200pc/ m3(34 pc/ft3)。
 
 
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