KASUGA春日静电电位监视装置KSD-0120
・能用1台控制器连接*大2ch的幅度电位传感器(KS-2100)、能廉价地制造静电监视系统。・因为是小型传感器部、能设置在各种制造装置内比较窄的地方、连续监视可能。・因为有警报设定、如果在超越了设定的电位时、能与各种制造装置传动。・装备检出传感器的故障表示LED、能输出到外部。
用途
・监视平面显示器生产工序中的带电量。・监视半导体硬芯片(wafer)的带电量。・监视LSI 处理中及印刷电路板搬送中的带电量。
表示部
型式
KSD-0120
表示范围
有效距离① ±1～±1999V
有效距离②±0.01～±19.9KV
模拟输出
0～±5V
测量精度
±10％以内
警报设定
2频道独立设定及正负独立设定
警报输出
集电极回路(警报设定输出及传感器故障输出)
电源
DC12～24V或AC适配器
消耗功率
20VA
环境
温度0～40℃、湿度65％RH以下（没有结露）
质量
约360g
传感器部
KS-2100
检出方式
振荡型表面电位传感器
测量范围
有效距离① ±1～±2000V
有效距离② ±0.01～±20.00KV
测量基准距离
有效距离① 10mm
有效距离② 50mm
警报
检出传感器故障时LED表示，外部输出
从KSD-0120供给
约100g（不含电缆）
付属品
专用电缆5m(*大可以到100m）