Model 5290
電極クリーニング頻度低減と クリーン清浄度はクラスNo.1!
ガスジェットエアロバーはクリーンドライエアーまたは、窒素ガスで電極の周囲を常に覆うことにより雰囲気中のガスやパーティクルなどから電極を保護し、ガス粒子変換によるシリカ成分の析出やパーティクルなどが電極に付着することを低減することができます。また、ガスジェットエアロバーの電極はウルトラクリーン単結晶シリコン電極もしくはチタン電極を装備しており、クリーンルーム清浄度クラスに対応しています。
アラーム機能
ガスジェットエアロバーはシステムアラーム機能を内蔵しており、システムに異常が生じた場合はアラームLEDを表示し、いちはやく検知することができます。
ガスジェットエアロバーのエアーパージ
ガスジェットエアロバーはパルスDC方式を採用しており、イオナイザから発生したイオンを効率よく除電対象物まで供給することができます。また、プラス・マイナスの各電極周囲に窒素ガスまたはクリーンドライエアーを供給し、電極と周囲の環境(汚染源)から隔離します。ガスの吹き出し流量は吹き出し口の特殊オリフィス採用により自動的に調節されます。
性能
除電時間:20秒以内(距離500mm)(±1000V →±100V)※テストはESD協会のANSIEOS/ESD 3.1-1991イオン化基準に従って、帯電プレートモニターを用いて行いました。
イオンバランス制御方式
正・負独立イオン電流保持回路
入力
AC26V±2V、コントローラから供給
消費電力
1W
出力
±0~20.5kV ±2.5kV
調整機能
出力電圧、正・負独立(10回転ダイヤル)
使用ガス
高純度窒素ガスもしくはクリーンドライエア
出力電圧、 正・負独立(10回転ダイヤル)
表示
1)正・負イオン発生、 赤色LED×22)アラーム、 赤色LED×1
電極
単結晶シリコン電極またはチタン電極
本体材質
耐炎性ABS樹脂
**対策
1)過電流制御回路2)高電圧部シールド構造
認証
UL、CE
オプション
Model5090 FMSインターフェイス/オーディブルアラーム
エアロバー Model 5290 モデル別仕様
5290e-24
電極数
正極2本、負極2本
消費ガス流量
電極1本あたり1リッター/分合計4リッター/分
寸法
(L)675×(W)33×(H)77mm
重量
約600g
5290e-36
正極4本、負極4本
電極1本あたり1リッター/分 合計8リッター/分
(L)979×(W)33×(H)77mm
約800g
コントローラ 仕様
5084e
AC100/115/230V切替 50/60Hz
24W
制御台数
80台
寸法(mm)
(L)381×(W)114×(H)171
1,720g
5024e
8W
20台
(L)298 ×(W)71 ×(H)73
5024
4台
(L)298 ×(W)73 ×(H)73
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