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日本SIMCOION除静电离子风机5810

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产品名称: 日本SIMCOION除静电离子风机5810

产品型号: 5810

产品展商: SIMCO思美高

简单介绍

日本SIMCOION除静电离子风机5810 5810i电离鼓风机系统模型（离子系统制造）是一款高性能离子风机传感器，适用于严格的管理过程中的静电离子系统相结合的离子平衡+ /-1V。

日本SIMCOION除静电离子风机5810的详细介绍

+/-1v 电离鼓风机系统模型 5810

5810i电离鼓风机系统模型（离子系统制造）是一款高性能离子风机传感器，适用于严格的管理过程中的静电离子系统相结合的离子平衡+ /-1V。

特征

· 在与外部传感器（NOVX 3150/3350/3360/7000）成绩（+ /-3V，在没有外部传感器）+ /-1V高精度离子平衡组合

·
在洁净室应用在设计相应的清洁（FED STD 209E 10级）ISO CLASS4高度清洁功能的高5802i，5810i，5822i电离鼓风机模型设计

· 通过控制离子平衡的长期维护它自己的自动循环

· 风扇停止报警设备

· 可选的自动电极清洁机制

· 高可靠性和地方的支持被证明在万维网交付数量

· 可选不锈钢外壳

规范

输入电压	100-240V AC + / -10％50/60HZ
外观	SUS或环氧/聚酯粉末涂料在铝
离子生成方法	直流稳态法
电极	8钛/风扇
风量	144cfm典型/风扇风扇转速=高
放电时间	<距离3秒。45厘米0.1千伏→100V。晶圆厂速度=高
离子平衡	<+ /-1V典型+ /-3V（外部传感器）（无外部传感器）
维	-32：155毫米x深96毫米x高813毫米长度
	-40：155毫米x深96毫米x高1016毫米长度
	-44：155毫米x深96毫米x高1118毫米长度
重量	4.6公斤全铝车身规格：-44
重量	SUS的6.9公斤体重规格：-44

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