KASUGA春日/KSD-0120/静电测试仪 KASUGA KSD-0120 静电电位监视装置产品特点： 1：能用1台控制器连接*大2ch的幅度电位传感器(KS-2100)、能廉价地制造静电监视系统。 2：因为是小型传感器部、能设置在各种制造装置内比较窄的地方、连续监视可能。 3：因为有警报设定、如果在超越了设定的电位时、能与各种制造装置传动。 4：装备检出传感器的故障表示LED、能输出到外部。 产品用途： 1：在平板显示器生产工序的带电量发生器监视。 2：半导体wafer带电量监视。 3：用于LSI的处理和印刷电路板搬送的带电量监视。 产品规格：
传感器部 型号 KS-2100 感应方式 振动型表面电位传感器 测量范围 有效距离① ±1～±2000V 有效距离② ±0.01～±20.00kV 模拟输出 0～±5V 测量精度 ±10％以内 测量基准距离 有效距离① 10mm 有效距离② 50mm 警报 感应传感器故障LED表示、外部输出 电源 由KSD-0120供给 环境 温度0～40℃、湿度65％RH以下（不会结冰打霜） 重量 约100g（含电缆） 附属品 专用电缆5m（可用*大100m）