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技术文章
SIMCOION超清洁生产设备装置模型离子风棒 AeroBar 5225
大量现货供应
SIMCOION
除静电设备
大量现货供应
SIMCOION
除静电设备
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15889577836 QQ:1441275308
谢家丽
15889577842 1771513868
方晓明
网址:
www.simco-esd.com
超清洁生产设备装置模型离子风棒
AeroBar 5225
5225
离子风棒是一款内置半导体超清洁生产装置的离子风棒。
特征
采用在世界上****的电极材料单晶硅的优势
,避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。
·
单晶硅电极材料在世界上拥有****的优势,可以避免重金属污染的风险与超低粒子的特性。
通过脉冲
DC
方式可以广范围的除电。
全程数字电路控制,实现稳定的离子发生方式及维护长时间的离子平衡。
除电物附近设置有
5200-SR
传感器,不仅是离子风棒,除电物附近的离子平衡的反馈数据也可以得到控制(
5200-SR
没有接续的情况下,离子风棒内置的传感器可以自动调整离子平衡)
设定了适合半导体前工程用的
EFEM
长度的离子风棒。
离子发生力,离子产生时间,
报警阈值等各种参数,在较大的范围内也可以设定。可以灵活的应对长距离操作及气流环境较弱的球境下的测量。
只有在输入相关的参数后可以得到较高的重复性及在短时间内的安置的可能。
装有简单的警报IO,通过利用无偿提供的DLL可以实时监控到时间进度把握程序装置内的运转状况。
规范
型号
5225 AeroBar
输入电压
通过
24V AC, 50/60Hz, 1W Typ. IM6T
供给
沟通的形式
RS485
(IM6T
〜
5225
之间)
输出电压
0kv
~約
+/-20kv
输出形式
直流脉冲模式,稳态直流模式(可选)
输出电流
<
内置一个
15micro A
的电流及电压限制器)
连接器
RJ11.4
极4芯
离子产生时序
*小0.1秒,*大10秒,可根据正负极进行设置
电极
单晶硅电极 可更换
臭氧发生器金额
<0.005ppm
(24小时累计测量值)
对应清洁度
ISO Class1, 0.1 micron
尺寸
高53mm*宽34mm*长569mm
(-22), 721mm(-28),
907mm(-36), 1128mm(-44), 1412mm(-56), 1636mm(-64),
1918mm(-76)
及
2144mm (-84)
重量
-22:1.02kg
每增长30cm增重0.17kg
外观
ABS
树脂
接口模块
5200-IM6T
输入电压
24VV DC+ / -5
%,1.5A
通信形式
Ethernet
,RS232C
报警输出
继电器接口
(只限
V4.0
以上的版本
)
维
高74mm*宽71mm*ta 315mm
重量
2kg
SIMCOION超清洁生产设备装置模型离子风棒 AeroBar 5225 /SIMCOION超清洁生产设备装置模型离子风棒 AeroBar 5225
SIMCO ION超清洁生产设备装置模型离子风棒 AeroBar 5225 /SIMCO-ION超清洁生产设备装置模型离子风棒 AeroBar 5225
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